產(chǎn)品特點：

　　該系統(tǒng)是一款可以控制多種氣體按不同流量進行混合配比的供氣系統(tǒng)，氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過管道到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)量流量計控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐，再進入爐子進氣口?；鞖夤奚辖佑袎毫Ρ恚瑝毫Ρ盹@數(shù)盤與質(zhì)量流量計顯示板安裝在同一面板上，每一條氣體管路均有一個高壓截止閥。各通道氣體流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在PLC觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。

　　技術(shù)參數(shù)：

　　1.氣路通道：多通道（可根據(jù)客戶要求定制）    

　　 2.氣體類型：客戶自選自配。

　　3.流量計標(biāo)準(zhǔn)量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(可以任意選擇量程)

　　4.工作電壓：220V 50HZ

　　5.工作溫度：5-45℃

　　6.工作壓差：0.1~0.5MPa

　　7.壓力可達：3MPa

　　8.準(zhǔn)確度：±1.0%F.S.  

　　9.質(zhì)量流量計相應(yīng)時間：1S

　　10.測量范圍：0.1MPa-0.15MPa

　　11.混氣罐：304不銹鋼  

　　12.進出氣接口：采用不銹鋼卡套接頭

　　13.管道：內(nèi)部管道為不銹鋼管 外部管道為聚四氟管

　　14.控制面板：每路氣路設(shè)定和查看都集中在PLC觸摸屏上可通過PLC設(shè)定每個通道的氣體流量，實時查看各通道的流量曲線和設(shè)定數(shù)據(jù)（與熱重可聯(lián)用）